「睿勵科學儀器」完成數億元B輪融資，專注國產半導體量檢測設備｜硬氪正選

作者｜黃楠

編輯｜袁斯來

硬氪獲悉，睿勵科學儀器(上海)有限公司（以下簡稱「睿勵科學儀器」）近日完成數億元B輪融資，本輪融資由金石投資、招商致遠領投，清控金信、河南資產、鼎青投資等資方跟投。

融資資金將用於高精度光學量檢測系列產品的研發和市場化推廣，豐富公司的產品矩陣，加速擴大生產並加強公司的市場拓展和品牌建設等。

「睿勵科學儀器」成立於2005年，是一家專注於半導體前道工藝的量檢測設備公司，為國家級高新技術企業、國家級專精特新「小巨人」，先後承擔兩個國家級「02專項」，具備全自主研發技術。公司總部位於上海浦東新區，其團隊成員多來自全球前兩位量檢測設備企業和國內知名光學技術公司，有18年產品開發和市場應用經驗。

芯片量檢測設備可細分為檢測（Inspection）和量測（Metrology）兩大類。其中，量測指對晶圓電路上的結構尺寸和材料特性進行量化描述，包括薄膜厚度、關鍵尺寸、刻蝕深度、表面形貌等物理性參數的量測。檢測指對晶圓表面上或電路結構中是否出現異質情況進行檢測， 如顆粒汙染、表面劃傷、開短路等對芯片工藝性能具有不良影響的特徵性結構缺陷。

量檢測設備貫穿芯片製造的工藝過程，多被用於工藝過程質量控制和保證產線良率。其中，隨著芯片結構的複雜性增加帶來光刻層數變多，每次光刻工藝循環都會帶來多次量檢測需求。

近年來，隨著國內半導體產業的快速發展和產業升級，對高端、精密的半導體設備需求不斷增加。量檢測設備也被認為是位列刻蝕、薄膜沉積、光刻後的晶圓廠設備（WFE）第四大市場，其規模約佔半導體設備市場的13%。

但長期以來，全球半導體量檢測設備市場呈國外頭部公司壟斷格局，中國半導體量測設備此前多依賴美國、日本、荷蘭、新加坡和南韓等進口，國產化率僅約5%，是半導體設備中除光刻機外最低的類別，目前正面臨高端人才稀缺、技術壁壘高、量產難度大和核心零部件國外依賴度等多重挑戰。

關注到半導體行業和國產化替代的廣闊市場，「睿勵科學儀器」專注於光學技術，在高精度光學量測和檢測領域持續耕耘，提出自研算法模式、獨立設計的光學架構，打破國際廠商壟斷，已在先進製程工藝節點率先完成了介質膜厚量測產品和明場缺陷圖形檢測產品的交付和大規模量產。

根據實際檢測，公司產品成熟度高，量產性能可匹配國外同類設備水平，可靠性驗證超過10年，在各類客戶不同的生產工藝產線上都通過了大規模量產的驗證。

目前，「睿勵科學儀器」的客戶涵蓋了邏輯代工、3D閃存、動態存儲器、先進封裝等領域，廣泛應用於300mm、200mmm、150mmfab廠，出貨量超過數百台。

硬氪瞭解到，「睿勵科學」每年研發投入比高達40%，本次融資完成後，預計將吸引更多高端人才加入，持續保持高強度的產品研發投入。公司於上海浦東建有生產基地，年產能超過150台、滿產後可支持15億元的年產值。

投資方觀點：

金石投資表示，半導體設備是半導體產業的基石，中國半導體產業的蓬勃發展有賴於半導體設備的技術和產品突破，量檢測是其中的關鍵環節。睿勵科學作為中國最早的一批量檢測設備公司，吸引了來自於國內外的頂尖人才，堅持技術創新，聚焦光學技術，我們相信睿勵科學將繼續保持技術和產品領先，幫助先進製程實現國產替代的突破和發展。

招商致遠表示，半導體量檢測設備面臨巨大的市場空間和國產替代機遇，也具有很高的壁壘。招商致遠看好半導體量檢測賽道，期待睿勵科學憑藉優秀的團隊和多年的技術積累和量產經驗，成為該細分賽道的領導者。