浙大「三劍客」縣城創業：讓中國芯用上「中國泵」

浙大「三劍客」縣城創業：讓中國芯用上「中國泵」

中新網寧波5月11日電 題：浙大「三劍客」縣城創業：讓中國芯用上「中國泵」

作者 張茵 張斌

在浙江省寧波市寧海縣，一家由三位浙江大學校友創辦的科技企業，經過數年自主研發，成功量產了半導體濕法工藝核心零部件——超潔淨磁懸浮泵，並在市場上廣泛應用。

這款裝置主要負責向晶圓生產設備精準輸送化學藥液。傳統泵因機械摩擦會產生微粒，壓力波動也會影響晶圓良率。而磁懸浮泵利用磁場將葉輪懸浮於腔體中，無機械磨損、不產生顆粒，且轉速控制精度高，有助於提升芯片製造的良品率。

產品研發團隊負責人、浙江大學工學博士邵傑傑介紹，該產品的技術難點在於既要實現無接觸運轉以避免汙染，又要保證壓力輸出極度穩定。

與他一同紮根寧海的，還有兩位浙大校友：一位是他的同門師弟，深耕控制算法領域；另一位是他的同窗好友，有著核電站生產管理從業經歷，負責工廠生產運營管理。

2020年，「三劍客」毅然瞄準半導體行業最難突破的技術瓶頸之一——磁懸浮泵。三人棲身簡陋的車間，全力投身技術攻堅。

「我們選擇做最難的事。」邵傑傑坦言。他打了個比方：有些技術難題如同普通算術題，只要投入時間，慢慢打磨就能攻克；而磁懸浮泵更像高階數學題，門檻極高、突破極難，可一旦率先突破，便能築起旁人難以追趕的技術壁壘。

攻堅之路充滿未知，誰也看不清前行的方向。「常常陷入瓶頸，束手無策，就是想不出解決方案。」邵傑傑回憶，即便如此，整個團隊依舊咬牙堅持。除此之外，從大城市回到縣城創業，眾人還要承受外界眼光與自我期許帶來的雙重心理負擔。

邵傑傑感慨，回鄉創業是有壓力的，「父母一開始並不支持，擔心我在家鄉創業失敗，會被熟人議論，被同學朋友嘲諷。他們總說，在外面創業失敗了無人知曉，回到家鄉創業失利了，反倒臉上無光。」

但他最終還是說服了家人，也打動了兩位校友。邵傑傑回憶，當時他和夥伴們坦誠交心：做實業必須沉下心，摒棄賺快錢的浮躁心態。「大城市誘惑多、人心容易浮躁，小地方雖不顯山露水，卻有著紮實的製造配套和優質的營商環境，更能讓人靜下心深耕實業，專心做事。」

事實證明，他們的判斷是對的。當研發需要快速打樣時，寧海本地發達的模具和精密加工產業提供了強有力的配套支撐。創業離不開沃土，而這裏恰好具備得天獨厚的創業條件。

終於，該團隊磁懸浮泵核心技術研發實現突破，產品也成功量產。2022年，作為中國國內集成電路高端工藝裝備的先進企業之一，北京北方華創微電子裝備有限公司(下稱：北方華創)對上述產品進行驗證。結論顯示，其性能與進口產品相當。隨後，北方華創不僅成為該團隊的核心客戶，還入股了這家初創企業，與其深度綁定。

2023年，深圳一家芯片製造廠急需此類泵，國內其他研發單位尚無成熟產品，邵傑傑團隊按時交付了訂單。2024年，在北方華創的供應商名單中，這家寧海企業從備選供應商躋身核心供貨行列。

2025年，一家國際知名科技集團派出13人的專業團隊到寧海實地驗廠。這是該集團首次對中國此類核心零部件供應商進行資質審核。經過嚴格對比測試，對方認定：該團隊的產品在溫度穩定性、轉速控制等關鍵指標上，表現不遜於甚至優於其他國家同類產品。邵傑傑帶領的企業，由此成為第一家進入其全球供應鏈的中國磁懸浮泵供應商。

「半導體行業準入門檻很高，客戶對產品可靠性要求極為嚴格。」邵傑傑介紹，目前，企業已從最初的3人發展到70餘人的專業團隊，產品覆蓋全系列大、中、小功率磁懸浮泵。與此同時，他還受聘擔任當地三所中小學的科技副校長，言傳身教，鼓勵青少年崇尚科學、勇敢追夢。(完)